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單法拉第杯 RF40 KF40 ECR125 EC/L800 ECL600

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可調ECR離子源

ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。在離子源內，等離子體運動軌跡是一條螺旋線。
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